EDSによる元素分析
当社では走査電子顕微鏡に付属した元素分析装置（EDS）により元素分析をおこなっています。主に材料系試料に対応します。 例えば、多層コートした材料の断面を元素分析する場合は、材料を樹脂に包埋した後にミクロトームで切削し、観察面を露出させます。導電性が無い場合はコーティングが必要になりますが、その際はオスミウムではなく電子線の透過性に優れるカーボンを蒸着し、分析の感度を高めます。
分析の流れ
元素分析と同時に反射電子像で組成の違いを見ることも可能です。
定性分析
観察面に対して一度に複数の元素を検出することができます。
マッピング
検出した元素の中から特定の元素を選び、それがどこに分布しているのかを調べることが可能です。
Ag
Ni
S
その他の技法について
