技法紹介

EDSによる元素分析SEM

当社では走査電子顕微鏡に付属した元素分析装置(EDS)により元素分析をおこなっています。主に材料系試料に対応します。 例えば、多層コートした材料の断面を元素分析する場合は、材料を樹脂に包埋した後にミクロトームで切削し、観察面を露出させます。導電性が無い場合はコーティングが必要になりますが、その際はオスミウムではなく電子線の透過性に優れるカーボンを蒸着し、分析の感度を高めます。

分析の流れ

EDS操作

元素分析と同時に反射電子像で組成の違いを見ることも可能です。


定性分析

スペクトル

観察面に対して一度に複数の元素を検出することができます。


マッピング

二次電子像

検出した元素の中から特定の元素を選び、それがどこに分布しているのかを調べることが可能です。


マッピング

 Ag

 Ni

 S


その他の技法について

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